北辰区双轴超精密气浮运动台背景介绍

发布于 2021年06月05日

[摘要]北辰区双轴超精密气浮运动台背景介绍，随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能提高

背景介绍，随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能提高，我司在运动控制上有着丰富的定位经验，推出了一款平面式H形双轴超气浮运动台。QFHDS采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了动态性能。广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。