东丽区双轴超精密气浮运动台的超精度设计

发布于 2021年05月24日

[摘要]东丽区双轴超精密气浮运动台的超精度设计，采用先进的碳化硅陶瓷设计，比铝合金气浮导轨性能约高5倍，热膨胀系数约低5倍。

的超精度设计，采用先进的碳化硅陶瓷设计，比铝合金气浮导轨性能约高5倍，热膨胀系数约低5倍。用此材料及结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，速度达到1m/s,加速度可达4g.利用多年的气浮轴承制造经验，开发一种新的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。
根据应用，QFHDS可用于主动或被动隔振系统，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等，整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。