宁河区双轴超精密气浮运动台的定制化设计

发布于 2021年05月24日

[摘要]宁河区双轴超精密气浮运动台的定制化设计，我们制造的大行程双轴气浮运动台用于半导体膜厚检测，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择。

的定制化设计，我们制造的大行程双轴气浮运动台用于半导体膜厚检测，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底轴Y轴用于微动调整步进，纳米级微动步距，气浮结构保证了高直线度，上轴X轴搭载检测仪器，高平面度指标保证了理想的切割直线，在200mm/s时速度稳定性0.05%，同时能够实现高动态响应和快速位置整定。各轴行程可定制。
大理石龙门结构设计，刚性好，稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴，龙门架X轴行程可定制，提升工作效率。
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。