[摘要]本标准旨在供给无尘室防止火灾及有关危害合理的安全防护,而这些防护办法可防止或削减人员及产业之危害。
此准则适用于东莞无尘车间工程公司(洁净工程公司)或许广东省无尘车间工程公司.以上几个方面列出做为参考.
无尘车间或无尘室的防护准则
此标准适用于一切本篇所界说之无尘室及洁净区之半导体厂。
洁净区(Clean Zone)
界说为区间内之空气中之尘埃粒子浓度控制在必定的范围内。
无尘室(Clean Room)
界说为房间内之空气中之尘埃粒子浓度控制在必定的范围内。
紧缩气体(Compressed Gas)
于容器中之任何气体或混合气体其在70OF(21.1℃)时,肯定压力大于40psi(275.8Kpa);或在
70 OF时肯定压力小于40psi,但在130OF(54.4℃)时其压力大于104psi;或易燃性气体在100 OF
(37.8℃)时,其蒸气压大于40psi称为紧缩气体。
目的
本标准旨在供给无尘室防止火灾及有关危害合理的安全防护,而这些防护办法可防止或削减人员及产业之危害。
此准则适用于东莞无尘车间工程公司(洁净工程公司)或许广东省无尘车间工程公司.以上几个方面列出做为参考.