共聚焦显微镜,Nanofocus多种传感器可进行层厚度检测--上海曼戈斐光学

反复进行黄光微影、蚀刻及杂质扩散的工程，以制造半导体芯片。

第一步、气相成长 

在完成镜面研磨的晶圆表面（单结晶硅基板）形成气相沉积层。 

Nanofocus多种传感器可进行层厚度检测。

第二步、选择性的掺杂物扩散 

运用类似照相技术的微影方法，可选择性地扩散掺杂物质而在部分区域制造想要的极性与杂质浓度。通过重复这个过程可制造所需求的半导体器件。 

第三步、蒸镀电极金属 

将铝、铜等蒸镀在晶圆表面形成电极及配线。

Nanofocus共聚焦显微镜可进行形貌，高度，角度等测量。

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