共聚焦显微镜,激光共聚焦显微镜在太阳能电池中的突出应用,NanoFocus

       激光共聚焦显微镜在晶体硅太阳能电池中的应用尤为突出，尤其是近几年世界科学领域逐渐向太阳能延伸拓展。晶体硅太阳能电池，即光伏电池主流产品的一种，从90s开始在国内及全球有了大规模的生产和逐步应用，很多光伏公司曾经涉足“全产业链”模式生产，因此是涵盖了集化工、材料、半导体于一体的多元集成行业。其中电池生产过程，虽然涉及技术仅仅是通常所述的半导体（Semiconductor）技术的缩略版，但其中环节众多，影响因素复杂多变，关注各环节的质量指标就成为必要，因此也涉及众多的测量分析手段。如针对硅片电阻率测量、碳/氧傅里叶变换红外含量、硅片表面形貌显微测量、发射极方块电阻测量、电池量子效率测量等等。其中，晶体硅电池基于180μm左右的硅基体薄片上进行电池制作，因此在纵向上涉及到的工艺过程都是在微米甚至亚纳米尺度范围，所以在这一尺度范围内的二维（2D）轮廓、三维（3D）层次测量和分析就成为贯穿电池生产始终的项目。

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