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解析晶圆和磊晶如何应用makdry迈卓温湿度设备作好防潮干燥储存

发布于 2014年06月20日

[摘要]目前晶圆和磊晶储存在业界并没有一个一致的标准,但根据行业提供的标准,大致在要求湿度20_50%rh之间,作好防潮和干燥的存放
分享,目前储存在业界并没有一个一致的标准,但根据行业提供的标准,大致在要求湿度20_50%rh之间,作好干燥,低含氧的存放

makdry迈卓专业工程师翻译文件如下:

晶圆储存条件依据
瑞典abb研究所
节录重点于储存
1拆封包装后应置于18-24℃,湿度7%-30%rh,符合iso 14644-1 calss 7的环境中
2晶圆未切割前,置于以上环境可存放3年
3切割成晶粒后,置于以上环境可存放9个月
4如未拆封包装,至少存放环境要保持温度8-45℃,湿度75%以下

makdry温湿度控制设备介绍Makdry迈卓专业级有机玻璃晶圆储存柜,结合传统防潮箱和氮气柜优点,柜体透明对产品可视,也可订制不锈钢制品,全方位保护贵重的晶圆,晶粒,磊晶