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1．研磨盘
研磨盘是涂敷或嵌入磨料的载体，以发挥磨粒切削作用，同时又是研磨表面的成形工具。研磨过程中研磨盘与工件是相互修整的，研磨盘本身的几何精度按一定程度“复制”到工件上，因此对研磨盘加工面的几何精度要求很高。
研磨盘材料硬度要低干工件材料硬度，且组织均匀致密、无杂质、无异物、无裂纹和无缺陷，并有一定的磨料嵌入性和浸含性。常用的研磨盘材料有铸铁、黄铜、玻璃等。
研磨盘的结构要合理，即具有良好的刚性、精度保持性、耐磨性、捧屑性和散热性。为了获得良好的研磨表面，常在研磨盘面上开槽。槽的形状有放射状、网格状、同心圆状和螺旋状等。槽的形状、宽度、深度和间距等要根据工件材料质量、形状及研磨面的加工精度而选择。
在研具表面开槽的目的如下：
(1)在槽内存储多余的磨粒，以防止磨料堆积而损伤工件表面。
(2)加工过程中作为向工件供给磨粒的通道。
(3)作为及时排屑的通道，以防止研磨表面被划伤。
固着磨料研磨盘是一种适用于陶瓷、硅片、水晶等脆性材料精密研磨的研具，具有表面精度保持性好、研磨效率高的优点。它是将金刚石或立方氮化硼磨料与铸铁粉末混合后，烧结成小薄块，或用电铸法将唐粒固着在金属薄片上，再用环氧树脂将这些小薄块粘贴在研磨盘而制成的。
2．抛光盘
抛光盘平面精度及其精度保持性是实现高精度平面抛光的关键。因此，抛光小面积的高精度平面工件时要使用弹性变形小，并始终能保持平面度的抛光盘。较为理想的是采用特种玻璃或者在平面金属盘上涂一层弹性材料或软金属材料作为抛光盘。
为获得无损伤的平滑表面，当工件材料较软时（如加工光学玻璃），可使用半软质抛光盘（如锡盘、铅盘）和软质抛光盘（如沥青盘、石蜡盘）。使用软质抛光盘的优点是抛光表面加工变质层和表面粗糙度值都很小：缺点是不易保持平面度，因而影响工件的平面度。