[摘要]背极式驻极体传声器(咪头)本发明属传感器技术领域，具体为一种两片结构的背极式硅基微型驻极体电容话筒。
本发明属传感器技术领域，具体为一种两片结构的背极式硅基微型驻极体电容话筒。其中，驻极体层位于带有背电极的固定背极板上，以单晶硅或多晶硅为振膜，振膜片上的振膜和硅框架以同种材料组成，以克服因应力不匹配导致的振膜高破损率；以二氯二甲基硅烷作为对氮氧化硅储电层的化学表面修正试剂，形成具有高抗湿能力的完善驻极体表面疏水层，通过调控栅控恒压或恒流电晕充电参数并组合热处理，以改善因包含大量声学孔的驻极体层所面临的电荷储存能力下降的问题。本发明大大提高了产品成品率。
苏州麦惠真空电子厂是一家专业生产驻极体振膜的企业，拥有10多年的生产和开发经验，为保证产品的一致性我厂使用其他厂家不具备的900型卧式真空镀膜机组，和振膜谐振频率控制仪器，能有效的保证驻极体话筒在频率响应、灵敏度等关键特性都比较优异。产品质量已获得国内多家知名驻极体话筒生产商家的认可。
我厂的质量保证方面均严格使用文件化标准管理。生产全过程都按QC工程图及相关文件严密监控。拥有员工30人当前产能达到月产1000万PCS。
产品种类基本可以提供当前驻极体话筒所以型号及规格的配套振膜，以及驻极体方式分振膜驻极体、背极板驻极体两大类，真空镀膜材料三种：***合金；记忆合金Au。薄膜材料五种（FEP12.5um、PET2um、PET4um、PPS2um、PPS4um）均使用“DUPONT”膜及“TORAY”膜。振膜规格型号包括Φ3到Φ16共100多个，并可以与客户共同开发新品。
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