[摘要]昆山硅片回收公司与您一起了解等离子体刻蚀：等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。
昆山公司与您一起了解等离子体刻蚀：等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。 双手操作，戴好手套将夹好的待刻蚀片子的夹具平稳地放到刻蚀支座上。关闭好反应室的盖子，防止漏气。按"运行"键，等离子刻蚀机开始工作。机器运行期间，要注意检查气压，辉光功率和气体流量是否符合工艺要求。刻蚀完毕后，机器会发出蜂鸣响，提示完毕，按"运行"键，停止运行。打开反应室的盖子，戴好手套，双手操作，从反应室中小心取出片子。填写作业记录表和流程卡（品名、批号、数量、日期、姓名等），将片子送下一道工序。检测如果发现片子不合格，通知相关技术人员进行处理。
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