上海专业公司透露现有的硅晶圆线切割废砂浆回收方法中，砂浆通过高速离心机，离心机转速超过3000r／min。废砂浆在离心力的作用下，透过滤孔排出，而固体颗粒被截留在滤布上。这种方法工艺要求较为简单，但是投资过大，而且回收率不高，还会浪费掉质量可观的聚乙二醇。近几年异军突起的多线切割机(简称线锯)以其极高的生产效率和出片率，在大直径硅片加工领域有逐渐取代内圆切割机的趋势。多线切割机将金属线缠绕在导线轮上，驱动导线轮和单晶棒作相对运动，砂浆磨削、冷却达到磨切晶片的目的。砂浆是被往复运动的线带到切割区，被带入的砂浆量的多少以及切割速度的高低决定硅片的切割质量。该切割过程需要使用硬度高、粒度小并且粒径分布窄的碳化硅颗粒作为切割介质。而与碳化硅按比例加入的聚乙二醇(PEG)，起到分散剂的作用，会使碳化硅在切割过程中分布均匀，并且聚乙二醇具备一定的热容，可以带走大量在切割过程中产生的摩擦热量，同时聚乙二醇的良好水溶性也便于后期硅片的清洗。
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