[摘要]模具涂层的碳膜不平衡所作的磁控溅射系统的封闭区域,通过提供改进的性能的涂层的金属,在纯Ar气氛中使用石墨靶,低的摩擦系数,耐磨损性的碳基固体润滑剂它是一种药物包衣层。
的碳膜不平衡所作的磁控溅射系统的封闭区域,通过提供改进的性能的涂层的金属,在纯Ar气氛中使用石墨靶,低的摩擦系数,耐磨损性的碳基固体润滑剂它是一种药物包衣层。涂层的石墨晶体结构的石墨IC具有高耐磨损性低导电性,高硬度,低的摩擦系数。相比,改善涂层的性能显着金刚石(DLC)碳,石墨集成电路漂亮,以及摩擦系数,临界载荷的增加,结构很不稳定的部分的类金刚石碳(DLC)涂层SP3少的,而不是具有滑动特性具有优良的Cr复合的石墨涂层沿c轴的轴向力更多地参与的涂层在工作温度范围内的显着改善。的水性介质中,标有优异的性能比硬质类金刚石涂层其他集成电路石墨的金属层的不锈钢机使用寿命长,是相当困难的,特别是铝,镁,钛。
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