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以下是关于精密过滤器的介绍：
微精密过滤器的设计与制作
微精密过滤器制作采用的是硅微细加工工艺和硅深层刻蚀工艺。首先,取一片<100>晶向、厚度为280μｍ的硅片,在其表面蒸镀一层铝作为掩模。用匀胶机(ＫａｒｌｓｕｓｓＣＴ62,德国)在铝膜表面旋涂一层厚度均匀的光刻胶(ＢＰ218 30,国产)(图2ａ),匀胶速度为3000ｒ/ｍｉｎ,时间30ｓ。在热板上前烘160ｓ,温度120℃。
在设计微精密过滤器时,至少有两个问题需要考虑:(1)精密过滤器的结构。传统的精密过滤器称为膜,透过性和筛选性是膜的两个重要特性[3]。如果把微精密过滤器近似看作一种滤膜,由于其孔径大,透过性好,因此流体流速快,过滤通道不容易堵塞,但筛选性差,只能过滤比其孔径大的微粒;(2)制作工艺。微精密过滤器的制作工艺要尽量简单,掩模版的使用以及硅 硅键合、高聚物键合的次数要尽量少[4]。基于这些考虑,本文设计了在硅基底上刻蚀出深200μｍ的矩形槽,并在槽的底部刻蚀线宽10μｍ(理论设计)、周期40μｍ、有效过滤面积为10ｍｍ×3ｍｍ的条状网栅,形成条栅状微精密过滤器(图1)。加工时双面光刻一次,不需要掩模版的堆迭,也不需要硅 硅或者硅 玻璃的键合,干法刻蚀则可保证狭缝的尺寸和垂直度。
滤机入口和出口的压力落差称为压差（ΔP）。当滤饼的厚度积累到能造成8到10psi的压差时，自清洗循环会自动启动。
滤饼自身也会起到过滤的作用，并且相对于不锈钢滤网，它还能够拦截住更小的微粒。比如说在压差不足以启动自清洗循环系统以前，一个100微米的滤网一般可以拦截25微米以下的微粒。而随着压差的增加，滤饼自身的压力也会增压。
滤饼上面有很多空隙，正如地面上的一堆碎石一样。当压力增加到一定的高度时，会引起滤饼的一部分区域被击破。这时对过滤效果会有影响，因为这样会让那些小的微粒（比如小于100微米的）顺利通过滤网。这些杂质又重新进入了液体，从而降低了过滤效率。
众多的原因决定了自清洗网式精密过滤器是对工业和灌溉领域进行水过滤处理的最好选择。它稳定，维护成本低、冲洗速度快、流损小并且容易安装。
在自清洗精密过滤器中，冲洗效率高的原因在于污物收集器的废水旁流管道的设计。污物被拦截在圆筒状的不锈钢金属滤网（梭织编制网或楔形网。）污物积累到滤网上时，滤网内外就会出现压差。结构特点
各种涂装设备顶棉过滤及框架式、袋式过滤器，适用于精细化工，油品，食品医药，水处理等场合。
性能特点
(1) 过滤精度高，滤芯孔径均匀
(2) 过滤阻力小，通量大、截污能力强，使用寿命长。
(3) 滤芯材料洁净度高，对过滤介质无污染。
(4) 耐酸、碱等化学溶剂。
(5) 强度大，耐高温，滤芯不易变形。
(6) 价格低廉，运行费用低，易于清洗，滤芯可更换。[1]精密过滤器应用
用于各种悬浮液的固液分离，环境要求比较高的，过滤精度比较高的药液过滤，适用范围广，适用于医药。食品。化工。环保。水处理等工业领域、
罐体材质可分为玻璃钢罐、碳钢罐、不锈钢罐，也可根据用户要求制作。
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