[摘要]上海高纯气体可燃气体（Flammable Gas）：把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。
上海高纯气体产品按性质分类，特种气体有哪些分类呢？
可燃气体（Flammable Gas）：把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。
如常温下的硅烷气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，磷烷和乙硼烷等气体也会发生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即上限、下即值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高，如乙硼烷的爆炸上限为98%，爆炸下限为0.9%。属于易燃气体有H2、NH3、PH3、等等。
根据燃烧的潜在危险性，分为不燃、助燃、易燃、自燃、强氧化性、分解或聚合六个类型（0－5）。
毒性气体（Toxic Gas）:半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以砷烷、乙硼烷、磷烷等气体的毒性最大，NO、CO、NO2、H2S等都属于毒性气体。
根据接触毒性的途径和毒性大小，按急性毒性（一次染毒）吸入半数致死量浓度LC50分为无毒、毒、剧毒三个等级（1－3）。
腐蚀性气体(Corrosive Gas):这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl、HF、NH3、PCl3、SiF4、WF6等。