[摘要]螺杆真空泵在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵,其中又以悬片式真空泵和活塞式真空泵为主要代表。而它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意。
在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵,其中又以悬片式真空泵和活塞式真空泵为主要代表。而它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意。因此,干式真空泵应运而生。在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。螺杆真空泵的使用与维护:
(1)旋片真空泵的启动。
启动前先检查电机引线是否松动、脱落，水冷泵的冷却水是否接通。用手扳动皮带轮，使泵腔内的油排入油箱。然后按动电机按钮送电，注意电源方向是否接反，泵旋转方向是否正确。
(2)旋片运转注意事项。
检查泵油量是否在油标线附近;开被抽系统阀门时不要开得太快，防止大量喷油;运转中注意有无不正常的噪声或冲击声，注意泵的油温升高。有局部过热时应立即停泵，防止卡泵或磨损。
(3)停泵注意事项。
停泵一定要从泵入口放大气(购买的机组都有自动放气阀)，断电后再断水。
(4)旋片式真空泵的维护与保养。
不同牌号的泵油不要混用；应找出合理的换油期(与使用条件有关)；泵从系统上拆下来时，泵口要塞封，防止脏物进入真空泵内；泵在使用中应保持要求的环境条件。
在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。以下就将这些不同类型的泵在物理特性上作一些探讨,希望能对大家有所帮助。