深圳观澜精密机械加工之电子束加工和光刻的工艺特点

       深圳市国龙精密机械设备有限公司专注于机械加工，为您做出更优质的产品，立志成为机械加工第一品牌。国龙精密机械为您提供：精密机械加工、精密零件加工、数控加工、不锈钢加工、零配件加工。

        ( 1 ) 电子朿加工的材料广泛，不仅可加工金属材料，而且还可加工非金属材料和工程塑料。它能完成的加工工序很多，如淬火硬化、熔炼、塑料聚合、焊接、打孔、铣槽和蚀刻等。此外，还能加工锥孔、异形槽和狭缝等。
        电子束加工易于自动化，且生产率高。一般说来，当工件厚度为0.1〜1mm时， 打孔时间与许多因素有关，一般为10μs至数秒。即使厚度为5 m m，也只需数十秒， 这是非常短的，因此其热量影响范围可以很小。
        电子束能够微细聚焦，在实验室条件下，聚焦点可以小于0.01m m， 常用的是1〜0,25μm。因此电子束可作“微精加工”， 如加工宝石轴承、喷丝头、半导体集成电路等。
        ( 2 ) 电子束光刻可以实现精细图形的写图或复印。目前它仍是大规模集成电路（LSI)和超大规模集成电路（VLSI )的掩膜或基片图形光刻的重要手段。
        电子束写图是目前最好的高分辨率图形制作技术。在实验室条件下，最高能达到2nm的特征尺寸；在生产中，一般也可达到0.5〜1μm 特征尺寸。电子束光刻具有较高的生产率。电子束曝光装置通过电场或磁场，能方便地完成电于朿聚焦和移动电子束聚焦点的位置，且它对控制信号的响应速度快，便于实现自动化控制。
         ( 3 ) 电子朿加工有一定的局限性，一般只用来加工小孔、细缝和微小的特形表面，并且需要有真空设施和数万伏的高压系统。电子束光刻也需要在真空中进行，因此也有一定的局限性。