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​氩气在等离子清洗机中应用的优势是什么

发布于 2021年06月25日

[摘要]​氩气在等离子清洗机中应用的优势是什么   1、避免电子器件氧化   氩气是一种惰性气体,电离后产生的离子体不会与基材发生化学反应,在等离子清洗中主要被应用于基材表面的物理清洗及表面粗化
  氩气在等离子清洗机中应用的优势是什么
  1、避免电子器件氧化
  氩气是一种惰性气体,电离后产生的离子体不会与基材发生化学反应,在等离子清洗中主要被应用于基材表面的物理清洗及表面粗化,较大的特点就是在表面清洗中不会造成精密电子器件的表面氧化。了解到正因如此,氩等离子清洗机在半导体、微电子、晶圆制造等行业被广泛应用。
  2、便于区分
  氩气在真空等离子清洗机中被电离所产生的等离子体呈暗红色。在相同的放电环境下,氢气和氮气所产生的等离子体颜色都是呈红色,但氩等离子体的亮度会低于氮气且高于氢气,还是比较好区分的。
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