高纯六氟化硫气体的特性和应用

  在常温常压下呈气态，装瓶后为高压液体。无色、无臭、无毒、不燃。具有良好的化学稳定性和热稳定性。近年来在许多生产技术领域中，越来越显示出它的重要性。高纯六氟化硫是我国科研、生产等许多部门急需的特种气休，在半导体工业巾用于等离子蚀刻工艺，在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。还是重要的激光材料，在其它领域也有重要用途。因为良好的绝缘性和灭弧性，气体被广泛应用于电器工业，如断路器、高压开关、高压变压器、高压传输线、互感器等。具体的应用体现在以下几方面。