[摘要]陕西无尘净化车间微电子净化工程定义为将一定空间范围内空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计的密闭空间。
微电子净化工程定义为将一定空间范围内空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计的密闭空间。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室，已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化的需求更为迫切。如超大型积体电路的研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项。
光学微电子净化工程一般包括:
1.生产区
2.洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
3.管理区(包括办公、值班、管理和休息)
4.设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)
洁净车间所需材料
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝制造。
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。
光学微电子净化工程解决方案:
组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
优点:
A.空气处理效果好，因空气经过集中处理，在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确;
B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;
C.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;
D.维修频率较低;
E.车间的噪音低。