[摘要]苏州pvd真空镀膜告诉您在我国e型电子枪和空心阴极电子枪都已成功地应用于蒸镀及离子镀的设备中。枪的功率可达10几万千瓦,已经为机械,电子等工业镀出了各种薄膜。利用空心阴极电子枪蒸镀时,产生的蒸发离子能量高,离化率也高,因此,成膜质量好。
苏州告诉您在我国e型电子枪和空心阴极电子枪都已成功地应用于蒸镀及离子镀的设备中。枪的功率可达10几万千瓦,已经为机械,电子等工业镀出了各种薄膜。利用空心阴极电子枪蒸镀时,产生的蒸发离子能量高,离化率也高,因此,成膜质量好。空心阴极电子枪对真空室的真空度要求比e型电子枪 低,而且是使用低电压工作,相对来说,设备较简单和安全,造价也低。真空蒸发镀膜是用空心阴极电子枪利用低电压,大电流的空心阴极放电产生的等离子电子束作为加热源。空心阴极电子枪用空心的钽管作为阴极,坩锅作为阳极,钽管附近装有辅助阳极。利用空心阴极电子枪蒸镀时,产生的蒸发离子能量高,离化率也高,因此,成膜质量好。
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